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文献
J-GLOBAL ID：200902138654507787
整理番号：00A0086127
金属エッチプラズマプロセシング放電中の真空紫外スペクトルの絶対強度
Absolute intensities of the vacuum ultraviolet spectra in a metal-etch plasma processing discharge.
WOODWORTH J R
(Sandia National Lab., New Mexico)
,
BLAIN M G
(Sandia National Lab., New Mexico)
,
JARECKI R L
(Sandia National Lab., New Mexico)
,
HAMILTON T W
(Sandia National Lab., New Mexico)
,
ARAGON B P
(Sandia National Lab., New Mexico)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 17 号： 6 ページ： 3209-3217 発行年： 1999年11月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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