文献
J-GLOBAL ID:200902138660964740
整理番号:94A0168175
半導体製造装置供給者のためのソフトウェア技術
Software Engineering for Semiconductor Manufacturing Equipment Suppliers.
著者 (2件):
BAUDOIN C R
(National Semiconductor Corp.)
,
KANTOR J P
(Honeywell)
資料名:
Proceedings. IEEE/CPMT International Electronics Manufacturing Technology Symosium
(Proceedings. IEEE/CPMT International Electronics Manufacturing Technology Symosium)
巻:
15th
ページ:
337-352
発行年:
1993年
JST資料番号:
T0858A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)