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文献
J-GLOBAL ID：200902138845102531
整理番号：02A0809569
フィルタ陰極真空アーク法によって作製したダイヤモンド状炭素膜の特性
Properties of Diamond-Like Carbon Films Fabricated by the Filtered Cathodic Vacuum Arc Method.
INABA H
(Hitachi Ltd., Yokohama, JPN)
,
FUJIMAKI S
(Hitachi Ltd., Kanagawa, JPN)
,
SASAKI S
(Hitachi Ltd., Yokohama, JPN)
,
HIRANO S
(Hitachi Ltd., Yokohama, JPN)
,
TODOROKI S
(Hitachi Ltd., Yokohama, JPN)
,
FURUSAWA K
(Hitachi Ltd., Yokohama, JPN)
,
YAMASAKA M
(Hitachi Ltd., Kanagawa, JPN)
,
SHI X
(Nanofilm Technol. International Pte., Ltd., Singapore)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 41 号： 9 ページ： 5730-5733 発行年： 2002年09月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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