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文献
J-GLOBAL ID：200902138861231139
整理番号：93A0811277
熱的に生成された原子状水素を含むプラズマ蒸着非晶質シリコンの化学平衡
Chemical equilibration of plasma-deposited amorphous silicon with thermally generated atomic hydrogen.
AN I
(Pennsylvania State Univ., Pennsylvania)
,
LI Y M
(Pennsylvania State Univ., Pennsylvania)
,
WRONSKI C R
(Pennsylvania State Univ., Pennsylvania)
,
COLLINS R W
(Pennsylvania State Univ., Pennsylvania)
資料名：
Physical Review. B. Condensed Matter and Materials Physics
(Physical Review. B. Condensed Matter and Materials Physics)
巻： 48 号： 7 ページ： 4464-4472 発行年： 1993年08月15日
JST資料番号： D0746A ISSN： 1098-0121 CODEN： PRBMDO 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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