文献
J-GLOBAL ID:200902139097884943
整理番号:97A0823457
CF4及びそれとAr及びO2との混合気体の13.56MHz放電におけるイオン種
Ionic Species in 13.56 MHz Discharges in CF4 Gas and Mixtures of It with Ar and O2.
著者 (5件):
ISHIKAWA I
(Yamanashi Univ., Kofu, JPN)
,
SASAKI S
(Yamanashi Univ., Kofu, JPN)
,
NAGASEKI K
(Tokyo Electron Yamanashi Ltd., Nirasaki, JPN)
,
SAITO Y
(Yamanashi Univ., Kofu, JPN)
,
SUGANOMATA S
(Yamanashi Univ., Kofu, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
36
号:
7B
ページ:
4648-4650
発行年:
1997年07月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)