文献
J-GLOBAL ID:200902139445723312
整理番号:99A0074795
カリックス[4]レゾルシナレン誘導体,橋かけ剤,及び光酸発生剤に基づく新しい三成分フォトレジスト
A New Three-Component Photoresist Based on Calix[4]resorcinarene Derivative, a Cross-linker, and a Photo-acid Generator.
著者 (4件):
NAKAYAMA T
(Yamagata Univ., Yamagata)
,
NOMURA M
(Yamagata Univ., Yamagata)
,
HAGA K
(Yamagata Univ., Yamagata)
,
UEDA M
(Yamagata Univ., Yamagata)
資料名:
Bulletin of the Chemical Society of Japan
(Bulletin of the Chemical Society of Japan)
巻:
71
号:
12
ページ:
2979-2984
発行年:
1998年12月
JST資料番号:
G0450A
ISSN:
0009-2673
CODEN:
BCSJA8
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)