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文献
J-GLOBAL ID：200902139587905027
整理番号：99A0457665
苛酷な環境下で使用するセンサ用のシリコン互換材料
Silicon compatible materials for harsh environment sensors.
KROETZ G H
(Daimler Benz Res. and Technol., Munich, DEU)
,
EICKHOFF M H
(Daimler Benz Res. and Technol., Munich, DEU)
,
MOELLER H
(Daimler Benz Res. and Technol., Munich, DEU)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A74 号： 1/3 ページ： 182-189 発行年： 1999年04月20日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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