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文献
J-GLOBAL ID：200902139659926717
整理番号：96A1010075
高分解能物質分析のためのサブミクロンマイクロビーム装置
Sub-micron microbeam apparatus for high resolution materials analyses.
KAMIYA T
(Japan Atomic Energy Res. Inst., Gunma, JPN)
,
SUDA T
(Japan Atomic Energy Res. Inst., Gunma, JPN)
,
TANAKA R
(Japan Atomic Energy Res. Inst., Gunma, JPN)
資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 118 号： 1/4 ページ： 447-450 発行年： 1996年09月
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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