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J-GLOBAL ID：200902140142777884 整理番号：97A0720181

炭化けい素の化学的機械的研磨

Chemomechanical Polishing of Silicon Carbide.

著者 (4件)：

ZHOU L

(Case Western Reserve Univ., Ohio, USA)

AUDURIER V

(Case Western Reserve Univ., Ohio, USA)

PIROUZ P

(Case Western Reserve Univ., Ohio, USA)

POWELL J A

(NASA Lewis Res. Center, Ohio, USA)

資料名：

Journal of the Electrochemical Society (Journal of the Electrochemical Society)

巻： 144 号： 6 ページ： L161-L163 発行年： 1997年06月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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