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文献
J-GLOBAL ID：200902140299460388
整理番号：93A0210269
高速HBTの製造におけるマイクロエアブリッジ絶縁の応用
Application of micro-airbridge isolation in high speed HBT fabrication.
TADAYON S
(COMSAT Lab., MD)
,
METZE G
(COMSAT Lab., MD)
,
GORNFELD A
(COMSAT Lab., MD)
,
PANDE K
(COMSAT Lab., MD)
,
HUANG H
(COMSAT Lab., MD)
,
TADAYON B
(Naval Research Lab., Washington, D.C., USA)
資料名：
Electronics Letters
(Electronics Letters)
巻： 29 号： 1 ページ： 26-27 発行年： 1993年01月07日
JST資料番号： A0887A ISSN： 0013-5194 CODEN： ELLEAK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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