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文献
J-GLOBAL ID：200902140384521612
整理番号：00A0152494
RFマグネトロンスパッタ法で成膜したチタン酸鉛(PbTiO3)の特性
Characteristics of Lead Titanate Film Made by RF Magnetron Sputter Deposition Method.
三須幸一郎
(三菱電機)
,
永塚勉
(三菱電機)
,
和高修三
(三菱電機)
,
山田朗
(三菱電機)
,
前田智佐子
(三菱電機)
,
田治米徹
(三菱電機)
資料名：
電子情報通信学会論文誌 C-1
(Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-1)
巻： J82-C-1 号： 12 ページ： 769-776 発行年： 1999年12月25日
JST資料番号： S0623B ISSN： 0915-1893 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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