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文献
J-GLOBAL ID：200902140398703420
整理番号：95A0688427
アンモニア雰囲気中における耐熱性金属窒化によるCuの不動態化
Passivation of Cu via refractory metal nitridation in an ammonia ambient.
ADAMS D
(Arizona State Univ., AZ, USA)
,
ALFORD T L
(Arizona State Univ., AZ, USA)
,
THEODORE N D
(Arizona State Univ., AZ, USA)
,
RUSSELL S W
(Arizona State Univ., AZ, USA)
,
SPREITZER R L
(Arizona State Univ., AZ, USA)
,
MAYER J W
(Arizona State Univ., AZ, USA)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 262 号： 1/2 ページ： 199-208 発行年： 1995年06月15日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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