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文献
J-GLOBAL ID:200902140771270172   整理番号:02A0516683

空中での超音波反射信号を用いた表面計測

Surface metrology using reflected ultrasonic signals in air.
著者 (5件):
ROBERTSON T J
(Univ. Warwick, Coventry, GBR)
HUTCHINS D A
(Univ. Warwick, Coventry, GBR)
BILLSON D R
(Univ. Warwick, Coventry, GBR)
RAKELS J H
(Univ. Warwick, Coventry, GBR)
SCHINDEL D W
(Micro Acoustic Instruments Inc., Ont., CAN)

資料名:
Ultrasonics  (Ultrasonics)

巻: 39  号:ページ: 479-486  発行年: 2002年04月 
JST資料番号: C0379B  ISSN: 0041-624X  CODEN: ULTRA3  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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