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文献
J-GLOBAL ID：200902140771270172
整理番号：02A0516683
空中での超音波反射信号を用いた表面計測
Surface metrology using reflected ultrasonic signals in air.
ROBERTSON T J
(Univ. Warwick, Coventry, GBR)
,
HUTCHINS D A
(Univ. Warwick, Coventry, GBR)
,
BILLSON D R
(Univ. Warwick, Coventry, GBR)
,
RAKELS J H
(Univ. Warwick, Coventry, GBR)
,
SCHINDEL D W
(Micro Acoustic Instruments Inc., Ont., CAN)
資料名：
Ultrasonics
(Ultrasonics)
巻： 39 号： 7 ページ： 479-486 発行年： 2002年04月
JST資料番号： C0379B ISSN： 0041-624X CODEN： ULTRA3 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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