文献
J-GLOBAL ID:200902140938562243
整理番号:98A0063630
高圧力ホローカソード放電
High-pressure hollow cathode discharges.
著者 (4件):
SCHOENBACH K H
(Old Dominion Univ., VA, USA)
,
EL-HABACHI A
(Old Dominion Univ., VA, USA)
,
SHI W
(Old Dominion Univ., VA, USA)
,
CIOCCA M
(Old Dominion Univ., VA, USA)
資料名:
Plasma Sources Science and Technology
(Plasma Sources Science and Technology)
巻:
6
号:
4
ページ:
468-477
発行年:
1997年11月
JST資料番号:
W0479A
ISSN:
0963-0252
CODEN:
PSTEEU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)