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文献
J-GLOBAL ID：200902140953965850
整理番号：95A0834693
原子間力顕微鏡に基づくリソグラフィーを用いたナノ構造の作製
Fabrication of nanostructures using atomic-force-microscope-based lithography.
SOHN L L
(AT&T Bell Lab., New Jersey)
,
WILLETT R L
(AT&T Bell Lab., New Jersey)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 67 号： 11 ページ： 1552-1554 発行年： 1995年09月11日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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