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文献
J-GLOBAL ID：200902141000252586
整理番号：01A0157006
走査電子顕微鏡の高倍率での被写界深度
Depth of field at high magnifications of scanning electron microscopes.
SATO M
(Hitachi, Ltd., Ibaraki-ken, JPN)
,
MIZUNO F
(Hitachi, Ltd., Ibaraki-ken, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 18 号： 6 ページ： 3047-3051 発行年： 2000年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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