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J-GLOBAL ID：200902141569942653 整理番号：01A0264662

インバータプラズマの性能に及ぼす動作バラメータの影響

Operational parameter effects on inverter plasma performance.

著者 (5件)：

TAKECHI S

(Osaka Univ., Osaka, JPN)

SUGIMOTO S

(Osaka Univ., Osaka, JPN)

KIUCHI M

(Osaka National Res. Inst., Osaka, JPN)

TANAKA K

(Osaka Univ., Osaka, JPN)

GOTO S

(Osaka Univ., Osaka, JPN)

資料名：

Surface & Coatings Technology (Surface & Coatings Technology)

巻： 136 号： 1/3 ページ： 69-72 発行年： 2001年02月02日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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