文献
J-GLOBAL ID:200902141623678193
整理番号:01A0168844
真空アーク蒸着TiN皮膜の構造と性質に及ぼすバイアス電圧及び入射角の影響
Bias voltage and incidence angle effects on the structure and properties of vacuum arc deposited TiN coatings.
著者 (7件):
ZHITOMIRSKY V N
(Tel-Aviv Univ., Tel-Aviv, ISR)
,
GRIMBERG I
(Technion-Israel Inst. Technol., Haifa, ISR)
,
RAPOPORT L
(Holon Academic Inst. Technol., Holon, ISR)
,
BOXMAN R L
(Tel-Aviv Univ., Tel-Aviv, ISR)
,
TRAVITZKY N A
(Tel-Aviv Univ., Tel-Aviv, ISR)
,
GOLDSMITH S
(Tel-Aviv Univ., Tel-Aviv, ISR)
,
WEISS B Z
(Technion-Israel Inst. Technol., Haifa, ISR)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
133/134
ページ:
114-120
発行年:
2000年11月
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)