文献
J-GLOBAL ID:200902142084384195
整理番号:01A0691547
金属とポリマ基板のNH3プラズマ処理中におけるNH2表面生成の機構とエネルギー移動
Mechanisms and Energy Transfer for Surface Generation of NH2 during NH3 Plasma Processing of Metal and Polymer Substrates.
著者 (4件):
BUTOI C I
(Colorado State Univ., Colorado)
,
STEEN M L
(Colorado State Univ., Colorado)
,
PEERS J R D
(Colorado State Univ., Colorado)
,
FISHER E R
(Colorado State Univ., Colorado)
資料名:
Journal of Physical Chemistry B
(Journal of Physical Chemistry B)
巻:
105
号:
25
ページ:
5957-5967
発行年:
2001年06月28日
JST資料番号:
W0921A
ISSN:
1520-6106
CODEN:
JPCBFK
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)