文献
J-GLOBAL ID:200902142308801277
整理番号:95A0352566
ジルコニウム酸チタン酸鉛スパッタリング薄膜の圧電特性へのポーリング処理効果
Effect of poling on piezoelectric properties of lead zirconate titanate thin films formed by sputtering.
著者 (3件):
WATANABE S
(Nikon Corp., Kanagawa, JPN)
,
FUJIU T
(Nikon Corp., Kanagawa, JPN)
,
FUJII T
(Nikon Corp., Kanagawa, JPN)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
66
号:
12
ページ:
1481-1483
発行年:
1995年03月20日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)