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文献
J-GLOBAL ID：200902142569547793
整理番号：97A0276385
III族窒化膜のリフトオフの光学プロセス
Optical Process for Liftoff of Group III-Nitride Films.
KELLY M K
(Technische Univ. Munchen, Garching, DEU)
,
AMBACHER O
(Technische Univ. Munchen, Garching, DEU)
,
DIMITROV R
(Technische Univ. Munchen, Garching, DEU)
,
HANDSCHUH R
(Technische Univ. Munchen, Garching, DEU)
,
STUTZMANN M
(Technische Univ. Munchen, Garching, DEU)
資料名：
Physica Status Solidi. A. Applied Research
(Physica Status Solidi. A. Applied Research)
巻： 159 号： 1 ページ： R3-R4 発行年： 1997年01月16日
JST資料番号： D0774A ISSN： 0031-8965 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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