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文献
J-GLOBAL ID：200902142939284908
整理番号：01A0209137
圧電素子の高周波振動を利用したアクティブスクイーズ空気軸受の開発 (第2報) ラジアルスクイーズ空気軸受による回転軸の運動誤差補正
Development of Active Squeeze Air Bearing Using Oscillation of Piezoelectric Actuators. (2nd Report). Radial Squeeze Air Bearing for Motion Error Correction.
磯部浩巳
(長岡技科大 工)
,
小野寺千絵
(長岡技科大 大学院)
,
中尾祥昌
(長岡技科大 大学院)
,
久曽神あきら
(長岡技科大 工)
資料名：
精密工学会誌
(Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 67 号： 1 ページ： 101-105 発行年： 2001年01月05日
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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