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文献
J-GLOBAL ID：200902143085464881
整理番号：95A0878024
Optical Proximity Correction for Super Resolution Technique.
KAMON K
(Mitsubishi Electric Corp., Itami, JPN)
,
WAKAMIYA W
(Mitsubishi Electric Corp., Itami, JPN)
,
NAGATA H
(Mitsubishi Electric Corp., Itami, JPN)
,
MORIIZUMI K
(Mitsubishi Electric Corp., Itami, JPN)
,
MIYAMOTO T
(Mitsubishi Electric Corp., Amagasaki, JPN)
,
MYOI Y
(Mitsubishi Electric Corp., Amagasaki, JPN)
,
TANAKA M
(Mitsubishi Electric Corp., Amagasaki, JPN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 2512 ページ： 491-502 発行年： 1995年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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