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文献
J-GLOBAL ID：200902143312823818
整理番号：00A0223372
Si(001)上の酸化ジルコニウム超薄膜の構造及び安定性
Structure and stability of ultrathin zirconium oxide layers on Si(001).
COPEL M
(IBM Res. Div., New York)
,
GRIBELYUK M
(IBM Analytical Serv., New York)
,
GUSEV E
(IBM Res. Div., New York)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 76 号： 4 ページ： 436-438 発行年： 2000年01月24日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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