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文献
J-GLOBAL ID：200902143583007854
整理番号：00A0903087
電磁力による結晶成長過程でのけい素溶融体での酸素原子輸送の制御
Control of Oxygen-Atom Transport in Silicon Melt during Crystal Growth by Electromagnetic Force.
WATANABE M
(NEC Corp., Tsukuba, JPN)
,
WANG W
(NEC Corp., Tsukuba, JPN)
,
EGUCHI M
(NEC Corp., Tsukuba, JPN)
,
HIBIYA T
(NEC Corp., Tsukuba, JPN)
資料名：
Materials Transactions, JIM(Japan Institute of Metals)
(Materials Transactions, JIM(Japan Institute of Metals))
巻： 41 号： 8 ページ： 1013-1018 発行年： 2000年08月20日
JST資料番号： G0668A ISSN： 0916-1821 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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