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文献

J-GLOBAL ID：200902143704582231 整理番号：00A0207804

Fabrication of Thin Film Metallic Glass and its Application to Microactuator.

著者 (3件)：

HATA S

(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)

SATO K

(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)

SHIMOKOHBE A

(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)

資料名：

Proceedings of SPIE (Proceedings of SPIE)

巻： 3892 ページ： 97-108 発行年： 1999年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別：会議録 (C)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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