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文献
J-GLOBAL ID:200902144015560200   整理番号:00A0491907

レーザーアブレーションによる有機ケイ素高分子薄膜の作製と評価

Preparation and Estimation of Thin Films From Organosilicon-based Polymers by a Laser Ablation Method.
著者 (4件):
藤野隆弘
(大阪府大 先端科研)
光本欣正
(大阪府大 先端科研)
岡邦雄
(大阪府大 先端科研)
堂丸隆祥
(大阪府大 先端科研)

資料名:
真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)

巻: 43  号:ページ: 373-376  発行年: 2000年03月20日 
JST資料番号: G0194A  ISSN: 0559-8516  CODEN: SHINA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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