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文献
J-GLOBAL ID：200902144090174880
整理番号：94A0124144
Effect of using a resin coating on KrF chemically amplified positive resists.
OIKAWA A
(Fujitsu Ltd., Kanagawa, JPN)
,
SANTOH N
(Fujitsu Ltd., Kanagawa, JPN)
,
MIYATA S
(Fujitsu Ltd., Kanagawa, JPN)
,
HATAKENAKA Y
(Fujitsu Ltd., Kanagawa, JPN)
,
TANAKA H
(Fujitsu Ltd., Kanagawa, JPN)
,
NAKAGAWA K
(Fujitsu Ltd., Kanagawa, JPN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 1925 ページ： 92-100 発行年： 1993年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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