文献
J-GLOBAL ID:200902144228282573
整理番号:98A0247943
全アラインメント誤差因子の新しい最適化法
Novel Optimization of Total Alignment Error Factors.
著者 (3件):
KAWAMURA E
(Fujitsu Ltd., Kawasaki, JPN)
,
KONNO Y
(Fujitsu Ltd., Kawasaki, JPN)
,
YAO T
(Fujitsu Ltd., Kawasaki, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
36
号:
12B
ページ:
7512-7516
発行年:
1997年12月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)