文献
J-GLOBAL ID:200902144313445031
整理番号:95A0575600
Optical Proximity Correction, a First Look at Manufacturability.
著者 (5件):
LIEBMANN L W
(IBM Microelectronics, NY)
,
GRENON B
(IBM Microelectronics, VT)
,
LAVIN M
(IBM Research Division, NY)
,
SCHOMODY S
(IBM Microelectronics, VT)
,
ZELL T
(Siemens, NY)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
2322
ページ:
229-238
発行年:
1994年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)