文献
J-GLOBAL ID:200902144508648948
整理番号:96A0867320
Los Alamos国立研究所におけるプラズマ源イオンインプランテーションの最近の進歩
Recent advances in plasma source ion implantation at Los Alamos National Laboratory.
著者 (9件):
MUNSON C P
(Los Alamos National Lab., NM, USA)
,
FAEHL R J
(Los Alamos National Lab., NM, USA)
,
HENINS I
(Los Alamos National Lab., NM, USA)
,
NASTASI M
(Los Alamos National Lab., NM, USA)
,
REASS W A
(Los Alamos National Lab., NM, USA)
,
REJ D J
(Los Alamos National Lab., NM, USA)
,
SCHEUER J T
(Los Alamos National Lab., NM, USA)
,
WALTER K C
(Los Alamos National Lab., NM, USA)
,
WOOD B P
(Los Alamos National Lab., NM, USA)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
84
号:
1/3
ページ:
528-536
発行年:
1996年10月
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)