文献
J-GLOBAL ID:200902144603583543
整理番号:94A0124150
Chemical Amplification Positive Deep UV Resist Using Partially Tetrahydropyranyl-Protected Polyvinylphenol.
著者 (5件):
HATTORI T
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
,
SCHLEGEL L
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
,
IMAI A
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
,
HAYASHI N
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
,
UENO T
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
1925
ページ:
146-154
発行年:
1993年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)