文献
J-GLOBAL ID:200902144808599442
整理番号:00A0853000
シラン高周波放電におけるクラスタの核形成とその後の成長のその場観察
In situ observation of nucleation and subsequent growth of clusters in silane radio frequency discharges.
著者 (5件):
KOGA K
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
MATSUOKA Y
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
TANAKA K
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
SHIRATANI M
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
WATANABE Y
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
77
号:
2
ページ:
196-198
発行年:
2000年07月10日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)