文献
J-GLOBAL ID:200902144833060728
整理番号:01A0073784
高分子のRFスパッタリングとその可能な応用
RF sputtering of polymers and its potential application.
著者 (1件):
BIEDERMAN H
(Charles Univ., Prague, CZE)
資料名:
Vacuum
(Vacuum)
巻:
59
号:
2/3
ページ:
594-599
発行年:
2000年11月
JST資料番号:
E0347A
ISSN:
0042-207X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)