文献
J-GLOBAL ID:200902144882962435
整理番号:94A0139548
Optical projection system for gigabit dynamic random access memories.
著者 (5件):
JEONG H
(Ultratech Stepper, Inc., California)
,
MARKLE D A
(Ultratech Stepper, Inc., California)
,
OWEN G
(Hewlett Packard Co., California)
,
PEASE R F W
(Stanford Univ., California)
,
GRENVILLE A
(Stanford Univ., California)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
11
号:
6
ページ:
2675-2679
発行年:
1993年11月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)