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文献
J-GLOBAL ID：200902144913838851
整理番号：02A0862291
面内追従型双安定マイクロ機構のチップ上作動
On-Chip Actuation of an In-Plane Compliant Bistable Micromechanism.
BAKER M S
(Brigham Young Univ.., UT, USA)
,
HOWELL L L
(Brigham Young Univ.., UT, USA)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 11 号： 5 ページ： 566-573 発行年： 2002年10月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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