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文献
J-GLOBAL ID：200902145011184839
整理番号：00A0300376
低温におけるZrB2の遠隔プラズマ化学蒸着
Low temperature ZrB2 remote plasma enhanced chemical vapor deposition.
PIERSON J F
(Pole Univ., Montbeliard, FRA)
,
BELMONTE T
(Ecole des Mines, Nancy, FRA)
,
CZERWIEC T
(Ecole des Mines, Nancy, FRA)
,
HERTZ D
,
MICHEL H
(Ecole des Mines, Nancy, FRA)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 359 号： 1 ページ： 68-76 発行年： 2000年01月24日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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