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文献
J-GLOBAL ID：200902145187154278
整理番号：95A0537647
ろ過したアーク蒸着により製造した薄膜の性質
Properties of Thin Films Produced by Filtered Arc Deposition.
MARTIN P J
(CSIRO Div. Applied Physics, Lindfield, AUS)
,
NETTERFIELD R P
(CSIRO Div. Applied Physics, Lindfield, AUS)
,
BENDAVID A
(CSIRO Div. Applied Physics, Lindfield, AUS)
,
KINDER T J
(CSIRO Div. Applied Physics, Lindfield, AUS)
資料名：
Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters
(Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters)
巻： 36th ページ： 375-378 発行年： 1993年
JST資料番号： E0063B ISSN： 0737-5921 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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