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文献
J-GLOBAL ID：200902145286876382
整理番号：98A0605204
電子ビームを用いた高密度マスタリング
High Density Mastering Using Electron Beam.
KOJIMA Y
(Pioneer Electronic Corp., Saitama, JPN)
,
KITAHARA H
(Pioneer Electronic Corp., Saitama, JPN)
,
KASONO O
(Pioneer Electronic Corp., Saitama, JPN)
,
KATSUMURA M
(Pioneer Electronic Corp., Saitama, JPN)
,
WADA Y
(Pioneer Electronic Corp., Saitama, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 37 号： 4B ページ： 2137-2143 発行年： 1998年04月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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