文献
J-GLOBAL ID:200902145448450600
整理番号:96A0169246
電子ビームリソグラフィー,反応イオンエッチング及び化学機械研磨によるプレーナ量子磁気ディスクの製作
Fabrication of planar quantum magnetic disk structure using electron beam lithography, reactive ion etching, and chemical mechanical polishing.
著者 (2件):
KRAUSS P R
(Univ. Minnesota, Minnesota)
,
CHOU S Y
(Univ. Minnesota, Minnesota)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
13
号:
6
ページ:
2850-2852
発行年:
1995年11月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)