文献
J-GLOBAL ID:200902145518168940
整理番号:99A0497688
極めて低い温度での電子サイクロトロン共鳴プラズマ化学蒸着と高速熱処理によって調製したRu底電極上の(Ba,Sr)TiO3膜の電気特性
Electrical Properties of (Ba, Sr)TiO3 Films on Ru Bottom Electrodes Prepared by Electron Cyclotron Resonance Plasma Chemical Vapor Deposition at Extremely Low Temperature and Rapid Thermal Annealing.
著者 (7件):
SONE S
(NEC Corp., Kanagawa, JPN)
,
AKAHANE R
(NEC Corp., Kanagawa, JPN)
,
ARITA K
(NEC Corp., Kanagawa, JPN)
,
YABUTA H
(NEC Corp., Kanagawa, JPN)
,
YAMAMICHI S
(NEC Corp., Kanagawa, JPN)
,
YOSHIDA M
(NEC Corp., Kanagawa, JPN)
,
KATO Y
(NEC Corp., Kanagawa, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
38
号:
4B
ページ:
2200-2204
発行年:
1999年04月30日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)