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文献
J-GLOBAL ID：200902145556669120
整理番号：98A0861053
化学的及び幾何学的に強化した集束イオンビームマイクロマシニング
Chemically and geometrically enhanced focused ion beam micromachining.
RUSSELL P E
(North Carolina State Univ., North Carolina)
,
STARK T J
(North Carolina State Univ., North Carolina)
,
GRIFFIS D P
(North Carolina State Univ., North Carolina)
,
PHILLIPS J R
(North Carolina State Univ., North Carolina)
,
JARAUSCH K F
(North Carolina State Univ., North Carolina)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 16 号： 4 ページ： 2494-2498 発行年： 1998年07月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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