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文献
J-GLOBAL ID：200902145836317025
整理番号：98A0604821
ミリメータ波帯域で動作するモノリシックマイクロ波集積回路用SrTiO3薄膜の電子サイクロトロン共鳴スパッタリングによる低温堆積
Low-Temperature Deposition of SrTiO3 Thin Films by Electron-Cyclotron-Resonance Sputtering for Monolithic Microwave Integrated Circuits Operating in the mm-Wave Band.
IKUTA K
(NTT System Electronics Lab., Kanagawa, JPN)
,
TSUKADA M
(NTT System Electronics Lab., Kanagawa, JPN)
,
NISHIMURA H
(NTT System Electronics Lab., Kanagawa, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 37 号： 4A ページ： 1960-1963 発行年： 1998年04月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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