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文献
J-GLOBAL ID：200902145848965030
整理番号：94A0124143
Delay Time Stable Chemically Amplified Deep UV Resist.
PRZYBILLA K J
(Hoechst Japan Ltd., Saitama, JPN)
,
KINOSHITA Y
(Hoechst Japan Ltd., Saitama, JPN)
,
KUDO T
(Hoechst Japan Ltd., Saitama, JPN)
,
MASUDA S
(Hoechst Japan Ltd., Saitama, JPN)
,
OKAZAKI H
(Hoechst Japan Ltd., Saitama, JPN)
,
PAWLOWSKI G
(Hoechst AG, Frankfurt, DEU)
,
ROECHERT H
(Hoechst AG, Frankfurt, DEU)
,
SPIESS W
(Hoechst AG, Wiesbaden, DEU)
,
SUEHIRO N
(Hoechst Japan Ltd., Saitama, JPN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 1925 ページ： 76-91 発行年： 1993年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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