文献
J-GLOBAL ID:200902145903990791
整理番号:99A0604343
a:DLC膜の物理的性質とその生成パラメータと基板タイプ依存性
Physical properties of a:DLC films and their dependence on parameters of deposition and type of substrate.
著者 (7件):
MAHARIZI M
(Tel-Aviv Univ., Tel-Aviv, ISR)
,
SEGAL O
(Tel-Aviv Univ., Tel-Aviv, ISR)
,
BEN-JACOB E
(Tel-Aviv Univ., Tel-Aviv, ISR)
,
ROSENWAKS Y
(Tel-Aviv Univ., Tel-Aviv, ISR)
,
MEODED T
(Tel-Aviv Univ., Tel-Aviv, ISR)
,
CROITORU N
(Tel-Aviv Univ., Tel-Aviv, ISR)
,
SEIDMAN A
(Tel-Aviv Univ., Tel-Aviv, ISR)
資料名:
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻:
8
号:
6
ページ:
1050-1056
発行年:
1999年06月
JST資料番号:
W0498A
ISSN:
0925-9635
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)