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文献
J-GLOBAL ID：200902146087729130
整理番号：95A0830573
多重極補正器による低電圧SEMにおける収差補正
Aberration correction in a low voltage SEM by a multipole corrector.
ZACH J
(European Molecular Biology Lab., Heidelberg, DEU)
,
HAIDER M
(European Molecular Biology Lab., Heidelberg, DEU)
資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section A. Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section A. Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment)
巻： 363 号： 1/2 ページ： 316-325 発行年： 1995年09月01日
JST資料番号： D0208B ISSN： 0168-9002 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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