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文献
J-GLOBAL ID：200902146192218965
整理番号：01A0192146
“無”上シリコン(SON) 最先端CMOS用の革新プロセス
Silicon-on-Nothing(SON). An Innovative Process for Advanced CMOS.
JURCZAK M
(France Telecom, Meylan, FRA)
,
SKOTNICKI T
(France Telecom, Meylan, FRA)
,
PAOLI M
(France Telecom, Meylan, FRA)
,
TORMEN B
(STMicroelectronics, Crolles, FRA)
,
MARTINS J
(STMicroelectronics, Crolles, FRA)
,
REGOLINI J L
(France Telecom, Meylan, FRA)
,
LENOBLE D
(France Telecom, Meylan, FRA)
,
PANTEL R
(STMicroelectronics, Crolles, FRA)
,
MONFRAY S
(France Telecom, Meylan, FRA)
資料名：
IEEE Transactions on Electron Devices
(IEEE Transactions on Electron Devices)
巻： 47 号： 11 ページ： 2179-2187 発行年： 2000年11月
JST資料番号： C0222A ISSN： 0018-9383 CODEN： IETDAI 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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