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文献
J-GLOBAL ID：200902146208630268
整理番号：93A0411790
Improvement of Optical Heterodyne Interferometric Microscope.
ZOLOTOV E M
(General Physics Inst., Moscow, SUN)
,
PELEKHATY V M
(General Physics Inst., Moscow, SUN)
,
SWIDZINSKY K K
(General Physics Inst., Moscow, SUN)
,
TAGIEV R G
(General Physics Inst., Moscow, SUN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 1755 ページ： 194-199 発行年： 1993年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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