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文献
J-GLOBAL ID：200902146350520011
整理番号：97A0742898
低圧有機金属化学蒸着により成長させた透明導電性のGaドープZnO膜
Transparent and conductive Ga-doped ZnO films grown by low pressure metal organic chemical vapor deposition.
LI Y
(Structured Materials Industries Inc., New Jersey)
,
TOMPA G S
(Structured Materials Industries Inc., New Jersey)
,
LIANG S
(Rutgers Univ., New Jersey)
,
GORLA C
(Rutgers Univ., New Jersey)
,
LU Y
(Rutgers Univ., New Jersey)
,
DOYLE J
(Aerospace Display Systems, Pennsylvania)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 15 号： 3 Pt 1 ページ： 1063-1068 発行年： 1997年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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