文献
J-GLOBAL ID:200902146419094311
整理番号:93A0587199
a-SiN0.58:H/a-SiN0.72:H superlattices prepared by ion beam assisted reactive deposition.
著者 (3件):
ZHANG S
(Univ. Waterloo, ON, CAN)
,
WANG Z Y
(Univ. Waterloo, ON, CAN)
,
BRODIE D E
(Univ. Waterloo, ON, CAN)
資料名:
Journal of Non-Crystalline Solids
(Journal of Non-Crystalline Solids)
巻:
155
号:
3
ページ:
221-230
発行年:
1993年05月
JST資料番号:
D0642A
ISSN:
0022-3093
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)